So erhalten Sie den maximalen Nutzen aus der Wärme zum Spülen der Wafer
Beim Spülen von Wafern ist die Wärme meist das größte Problem. Man braucht zwar Wärme, damit sie optimal auf die Oberfläche der Wafer wirkt – doch meist wird Energie verschwendet, indem das Gehäuse der Maschine erhitzt wird. Das ist frustrierend.
Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir wasserdichte Infrarotlampen in Kombination mit reflektierenden Elementen aus Gold. Das Ziel ist einfach: Die Energie soll nicht verschwendet werden, sondern genau dorthin geleitet werden, wo sie benötigt wird.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese saugen zu viel Energie auf. Gold hingegen reflektiert Infrarotwellen hervorragend. Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen schwachem Licht und Laserlicht vor: Anstatt einer breiten, verschwenderischen Wärmeabstrahlung lenkt die goldene Schicht die Energie direkt auf den Siliziumkern. Dadurch wird die gewünschte Temperatur schneller erreicht – ohne dass man die Spannung erhöhen muss. Es ist also effizienter.
Umgang mit Feuchtigkeit
Seien wir ehrlich: Die Spülstationen sind feucht. Wenn Wasser in die Elektronik gelangt, funktioniert alles nicht mehr. Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie mit Feuchtigkeit umgehen können. Die Dichtungen sind so gut, dass Wasser nicht an die Elektroden gelangen kann. So müssen Sie sich keine Sorgen um Kurzschlüsse machen – und können in Ruhe weiterarbeiten.
Ein paar Dinge, auf die Sie achten müssen
Da die Wärme so konzentriert ist, müssen Sie darauf achten, wo die Lampen platziert werden. Wenn sie zu nah beieinander sind, könnten die Ränder der Wafer beschädigt werden. Ich empfehle, etwas Zeit in die Kalibrierung des Abstands zwischen dem Reflektor und dem Substrat zu investieren, um solche Probleme zu vermeiden. Achten Sie auch darauf, dass Ihr Kühlsystem die zusätzliche Wärmebelastung bewältigen kann.
Das Beste daran: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt einsetzbar sind. Sie können Ihre alten IR-Lampen ersetzen, Ihren Energieverbrauch reduzieren und so Geld sparen. Stellen Sie nur sicher, dass die Stromversorgung ausreicht, damit die Lampen nicht zu früh ausbrennen.