Jak využít teplo používané k oplachování waferů co nejlépe
Při oplachování waferů je největším problémem obvykle teplota. Potřebujete, aby teplo působilo přesně na povrch waferů, ale většinou jen plýtváte energií na zahřívání samotného stroje. Je to frustrující.
Abychom to vyřešili, používáme vodotěsné infračervené lampy spojené s reflektory pokrytými zlatem. Cíl je jednoduchý: zabránit úniku energie a nasměrovat ji přesně tam, kam potřebuje jít.
Proč zlato?
Většina lidí používá hliníkové reflektory, ale ty pohlcují příliš mnoho energie. Zlato je jiné – skvěle odráží infračervené vlny.
Představte si to jako rozdíl mezi slabým světlem a laserem. Místo širokého, zbytečného rozptylu tepla posouvá zlatá vrstva energii přímo na křemík. Dosáhnete tak cílové teploty rychleji a nemusíte zvyšovat napětí. Je to prostě efektivnější.
Jak se vypořádat s vlhkostí
Buďme upřímní – stanice na oplachování jsou mokré. Pokud se voda dostane do elektroniky, všechno se zastaví.
Tyto lampy jsme navrhli tak, aby odolaly vlhkosti. Uzávěry jsou pevné, takže voda nedostane k elektrodám – nemusíte se tedy obávat zkratu během provozu. To vám přinese potřebný klid.
Na co si dát pozor
Jelikož je teplota tak koncentrovaná, musíte dávat pozor na to, kde lampy budou umístěny. Pokud budou příliš blízko, můžete omylem spálit okraje waferů. Doporučuji věnovat trochu více času kalibraci vzdálenosti mezi reflektorem a podkladem, abyste se vyhnuli těm nepříjemným „horkým místům“. Také se ujistěte, že váš chladicí systém dokáže zvládnout dodatečné tepelné zatížení od stěn komory.
Nejlepší na tom je, že se jedná o náhradní komponenty, které lze jednoduše nahradit. Můžete tím nahradit starý infračervený systém, snížit tepelné zatížení a přestat platit nadměrné poplatky za elektřinu. Jen se ujistěte, že vaše zdroj napájení odpovídá požadovanému výkonu, abyste lampy neopotřebovali předčasně.