বার্ন-ইন লাইনে, তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা একটি পছন্দ নয়—এটি একটি কঠোর সীমাবদ্ধতা। কয়েক ডিগ্রির একটি ড্রিফ্ট প্যারামেট্রিক আউটপুট নষ্ট করে দেবে, এবং ফটোরেজিস্ট বেকের অযৌক্তিকতা আপনার সঙ্কুচিত লিথোগ্রাফি বাজেটকে নষ্ট করবে এবং ভাল ওয়েফারকে স্ক্র্যাপে পরিণত করবে। আমরা আমাদের ওয়েফার বার্ন-ইন হিটিং ল্যাম্পগুলি ডিজাইন করেছি যাতে তাপীয় ক্ষেত্রটি সঠিক থাকে, শিফটের পর শিফটে।
মূল বিষয়টি সরল। কোয়ার্টজ এনভেলপের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন উপাদানগুলি দ্রুত, সরাসরি রেডিয়েন্ট তাপ সরবরাহ করে কঠোর স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণের সাথে, যা সিলিকন এবং আপনি যে ফটোরেজিস্ট স্ট্যাকগুলি ব্যবহার করছেন তাদের শোষণ প্রোফাইলের সাথে মেলে। একত্রীকৃত NIR সেন্সরগুলি বাস্তব সময়ে লুপটি বন্ধ করে, সক্রিয় অঞ্চলে ওয়েফার-স্তরের সমতা ±0.1°C ধরে রাখে।
ল্যাম্পের দেহটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের জন্য তৈরি—কম আউটগ্যাসিং উপকরণ এবং একটি লামিনার এয়ারফ্লো শ্রেড যা স্থির অবস্থায় কণা উৎপাদনকে শূন্যে রাখে। আউটপুট পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা সাইকেল থেকে সাইকেলে 0.2% এর চেয়ে ভাল, তাই আপনার সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইলগুলি লট এবং টুলের মধ্যে স্থিতিশীল থাকে।
এ কারণে এই ল্যাম্প বার্ন-ইন এবং ওয়েফার-স্তরের পরীক্ষার জন্য উপযুক্ত। আপনি অতিরিক্ত শূন্যের ছাড়াই দ্রুত র্যাম্প রেট পান, উচ্চ ঘনত্ব লোডিংয়ের অধীনে স্থিতিশীল সোয়াক তাপমাত্রা, এবং তাপীয় প্রোফাইলগুলি মেশিনের মধ্যে পুনঃটিউন ছাড়াই স্থানান্তরিত হয়। শক্তি ব্যবহারের হার কমে যায় কারণ তাপ সরাসরি বিতরণ করা হয়, এবং অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম কমে যায় কারণ সিস্টেমটি 24/7 ডিউটির জন্য তৈরি।
বদলযোগ্য মডিউলগুলি মানে আপনি পরিষেবার প্রয়োজন হলে টুলের অচল সময় কমিয়ে আনতে পারেন।
ইনস্টলেশন টুল-নির্দিষ্ট: সঠিক অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট, ক্লিনরুম-রেটেড মাউন্টিং এবং স্থানীয় তাপ লোড নিয়ন্ত্রণে রাখা যে নিষ্কাশন ক্যাপচার পরিকল্পনা করুন। ল্যাম্পটি লক্ষ্য দূরত্ব এবং এমিশিভিটি স্থির রাখলে সর্বোত্তম কার্যকারিতা প্রদান করে। যদি আপনি ওয়েফার স্ট্যাক বা ফিক্সচার পরিবর্তন করেন, তবে আপনাকে সমতা নির্দিষ্ট রাখতে সেটপয়েন্ট মানচিত্রের একটি দ্রুত পুনঃক্যালিব্রেশন করতে হবে।