ফ্যাব ফ্লোরে, স্মার্ট সেন্সর প্যাকেজিং লাইনগুলো তাপীয় পরিবর্তনগুলো সহ্য করতে পারে না। যদি কোনো ওয়েফারে তাপমাত্রা নির্ধারিত মানের বাইরে চলে যায়, অথবা কোনো অংশে তাপমাত্রা অতিরিক্ত হয়ে যায়, তাহলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া শেষ হওয়ার আগেই উৎপাদন কমতে শুরু করে। এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্য আমরা ইনফ্রারেড থার্মাল প্ল্যাটফর্ম তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা NIR এমিটার ব্যবহার করি; এগুলো ফোটোরেসিস্টের শোষণ ক্ষমতা অনুযায়ী কাজ করে। ফলে তাপ দ্রুত ও স্পর্শহীনভাবে ওয়েফারে পৌঁছায়। ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রির মাধ্যমে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়। হিটারটি কোয়ার্টজ ও উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিরামিক দিয়ে তৈরি; ফলে স্থিতিশীল অবস্থায় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। এটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে চলে; আর তাপীয় প্রোফাইলটি প্রতিটি লটেই একই থাকে। পাওয়ার ডেনসিটি নিয়ন্ত্রণ করে থাকে; ফলে থ্রুপুট বজায় থাকে—অতিরিক্ত তাপীয় পরিবর্তনের অপেক্ষা করার দরকার নেই।
কেন এটি স্মার্ট সেন্সর প্যাকেজিংের জন্য উপযুক্ত?
এখানে পাতলা ফিল্ম, সূক্ষ্ম অংশগুলো ব্যবহৃত হয়; তাই কোনো ধরনের ত্রুটি সহ্য করা যায় না। এই ইনফ্রারেড হিটিং পদ্ধতিতে ফোটোরেসিস্ট ঠিকমতো শুকায়; আর কোনো অংশে অতিরিক্ত তাপ পড়ে না। ফলে পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়, অপ্রয়োজনীয় ওয়েফারও কমে যায়। আর ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোও নিয়ন্ত্রণে থাকে।
এই প্ল্যাটফর্মটি অপ্রয়োজনীয় তাপ উৎপন্ন না করে শক্তি সাশ্রয় করে। এটি প্রয়োজন অনুযায়ী উত্তপ্ত হয় ও দ্রুত ঠান্ডা হয়; ফলে বিদ্যুৎ খরচ কমে যায়। এটি 24/7 কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; এমিটারের জীবনকাল নিয়ন্ত্রণ করে তাপমাত্রা নির্ধারিত মানে রাখা হয়।
কী পরিকল্পনা করা দরকার?
ইনস্টলেশনের জন্য পরিষ্কার বিদ্যুৎ সরবরাহ ও স্থিতিশীল মাউন্টিং প্লেইন দরকার। এমিটারগুলো অ্যালাইনমেন্টের প্রতি সংবেদনশীল; যদি অ্যালাইনমেন্ট ঠিক না থাকে, তাহলে ওয়েফারের কিনারায় ছোট ছায়া দেখা যায়। রেসিপি নির্ধারণ করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত পরীক্ষা করুন; তারপর সেটপয়েন্টগুলো নিয়ন্ত্রণ পরিকল্পনায় লক করুন।
অ্যালাইনমেন্ট ঠিক হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি পুনরাবৃত্তি করা যায়—কিন্তু অপটিক্স ও পাইরোমিটারের ক্যালিব্রেশন নিয়মিত পরীক্ষা করা দরকার।