লিথোগ্রাফি মেঝেতে, একটি ই-বীম রেজিস্ট বেক কোনও ওয়ার্ম-আপ নয়। এটি লাইনওয়েড নিয়ন্ত্রণের জন্য গেটকিপার। 0.3°C বিচ্যুতি একটি ঢালযুক্ত সাইডওয়াল প্রিন্ট করতে পারে। একটি ঠান্ডা স্পট ফিল্ম পিছনে রেখে দিতে পারে, এবং আপনি পরে এটি ডেভেলপ লিফ্ট হিসাবে দেখতে পাবেন। আমরা আমাদের ই-বীম রেজিস্ট বেকিং Heater তৈরি করেছি যাতে এটি বাস্তবতায় বসবাস করে—তাপমাত্রা ধরে রাখা যেখানে প্রক্রিয়াটির প্রয়োজন, সেখানে নয় যেখানে Heater সেটল করতে সিদ্ধান্ত নেয়।
কি প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ। আমরা কোয়ার্টজ-ভিত্তিক তাপীয় পথের মাধ্যমে স্বল্প-তরঙ্গ ইনফ্রারেড উপাদানগুলি চালনা করি, তাই তাপ দ্রুত এবং পরিষ্কার। ওয়েফারের উপর, সমতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, এবং সেটপয়েন্ট স্থিরতা ±0.05°C এর নিচে ধরে রাখে একবার আপনি স্থির বেকের মধ্যে প্রবেশ করলে। সিস্টেমটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যে বেক তাপমাত্রায় পৌঁছে, তাই আপনি লটগুলির মধ্যে অলস সময় কমিয়ে আনতে পারেন ফটোরেজিস্ট তাপীয় বাজেটের বাইরে না গিয়ে। তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা প্রতিটি রেসিপি, প্রতিটি টুল, প্রতিদিন ট্র্যাক করা হয়, তাই আপনি বেক ইতিহাসকে সরাসরি সমালোচনামূলক মাত্রার কর্মক্ষমতার সাথে সম্পর্কিত করতে পারেন। গরম অঞ্চলটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম ব্যবহারের জন্য তৈরি, এমন উপাদান এবং পৃষ্ঠতল নিয়ে যা কণার উত্পাদন কম রাখে এবং পরিষ্কার করা সহজ করে। এটি trenches-এ কেন কাজ করে। এই Heater ই-বীম রেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণের জন্য প্রকৌশলী করা হয়েছে, যেখানে বেক প্রোফাইল শুধুমাত্র “সাহায্য” করে না—এটি উৎপাদনকে আকৃতি দেয়। সঙ্কীর্ণ সমতা স্থানীয় CD পক্ষপাত কমায় এবং আপনাকে প্যাটার্ন ভাঙনের বিরুদ্ধে মার্জিন দেয়। দ্রুত স্থিতিশীলতা অমূল্য সময় কাটিয়ে দেয়, তাই আপনি প্রতিরোধের তাপীয় বাজেটের উপর চাপ না দিয়ে throughput বাড়াতে পারেন। ক্লিনরুম-সঙ্গতিপূর্ণ নির্মাণ কণার সংখ্যা কম রাখে, যার মানে বেকের পরে কম দূষণ অনুসরণ। চূড়ান্ত ফলস্বরূপ একটি বেক যা একটি ধ্রুবক হিসাবে আচরণ করে—দিনের পর দিন, লটের পর লট। এটি মনে রাখতে হবে। ইনস্টলেশন টুলের যান্ত্রিক এনভেলপ এবং বৈদ্যুতিক ইন্টারফেসের সাথে মেলাতে আসে, সংযোগকারীর ধরনের এবং স্থানীয় ভোল্টেজ সহ। আপনার সঠিক বেক সেটপয়েন্টে রেসিপি র্যাম্পগুলি টিউন করতে এবং তাপমাত্রার ম্যাপিং নিশ্চিত করতে একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান আশা করুন। এই Heater সেরা কাজ করে যখন নিষ্কাশন প্রবাহ এবং চেম্বারের চাপ নির্দিষ্ট জানালার মধ্যে থাকে। এর বাইরে ঠেলে দিন, এবং এমনকি একটি স্থিতিশীল Heaterও রেসিপি থেকে রেসিপিতে বিচ্যুত হতে পারে। ইন্টিগ্রেশনকে আগে পরিকল্পনা করুন—অ্যালাইনমেন্ট কর্মক্ষমতার অর্ধেক।