في أرضية الإنتاج، فإن اختلاف درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية على سطح البلاط الساخن أثناء عملية تسخين رقاقات الفوتورزيست يُعد أمرًا خطيرًا للغاية، حيث يؤدي إلى فقدان السيطرة على عرض الخطوط، وبالتالي يتحول المنتج إلى خردة. لذا، من الضروري استخدام أجهزة قياس درجة الحرارة التي تتبع نقطة الإعداد المحددة، وليس النقاط الساخنة في الجهاز المسخن.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نحن نصنع مقاييس حرارية لأجهزة التسخين المستخدمة في أشباه الموصلات، بهدف الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، بالإضافة إلى ضمان استمرارية هذا التوحيد في جميع دفعات الإنتاج. يتم وضع مقاييس الحرارة في المكان الذي تتلقى فيه الرقاقة درجة الحرارة فعليًا، وليس في المكان الذي يكون فيه الجهاز المسخن أكثر سخونة.
يتم تصميم هذه الأجهزة للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1-100؛ فهي لا تسبب أي جسيمات غير مرغوب فيها، كما أنها تتحمل دورات التسخين المتكررة. يظل الإخراج مستقرًا طوال الوقت، مما يساعد على تجنب التوقفات غير المخطط لها وضمان فترات صيانة متوقعة.
لماذا يعمل ذلك في عملية الطباعة بالليثوغرافيا؟ في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، يجب أن يتم تسخين الرقاقة بدقة عالية. تساعد مقاييس الحرارة التي نستخدمها في الحفاظ على دقة درجة الحرارة، مما يقلل من التباين في أبعاد الرقاقة، ويحسن جودة رقاقات الفوتورزيست، ويقلل من كمية الخردة الناتجة.
كما أن التحكم الدقيق يقلل من وقت الاختبار، ويقلل من استهلاك الطاقة، وذلك بمنع حدوث ارتفاعات غير مرغوب فيها في درجة الحرارة. النتيجة هي زيادة الكفاءة، وتقليل عدد عمليات إعادة الإنتاج، بالإضافة إلى ضمان استمرارية عمل المعدات.
ما الذي يجب أن يتم بشكل صحيح؟ يجب أن يتم تركيب المقاييس بدقة عالية؛ يجب أن تكون المقاييس في العمق المحدد، وأن تكون موجهة بشكل صحيح نحو سطح الرقاقة. أي خطأ في التركيب أو في الاتصال الحراري سيؤدي إلى انخفاض درجة التوحيد في درجة الحرارة.
يمكن استخدام هذه الأجهزة مع معظم أنواع أجهزة التسخين، لكن في بعض الحالات قد يكون من الضروري استخدام مكونات خاصة. يجب تحديد نوع جهاز التسخين ونطاق درجة الحرارة المطلوب، حتى نتمكن من تحديد مواد الغلاف والعزل ومنحنى المعايرة المناسب لنمط درجة الحرارة الخاص بك.